使用空氣作氣源時，臭氧產率隨濃度的上升快速下降，例如，當臭氧濃度為13g/m3時（1.1%重量比），每度電能產生35浴池水質檢測設備克的臭氧，當臭氧濃度為20g/m3時，每度電只能產生28克左右臭氧。如要達到50g/m3的濃度，幾乎無產量。因而采用空氣作氣源時，往往采用10-20g/m3左右的臭氧濃度（1-1.5％重量比）。
以下幾個原因使得采用高濃度氧氣作為氣源成為:，高濃度氧氣的生產工藝了氣源的純凈和低露點----可輕松達到-60℃以下。第二，高濃度氧氣大幅度提高臭氧發生器的效率和性能，例如，采用高濃度氧氣（92％）時，當臭氧濃度為50g/m3時（這樣的濃度是空氣法無法達到的），一個設計優良的臭氧發生器，每度電能產生100克以上的臭氧。第三，研究表明，臭氧的溶解度符合亨利定律。這意味著臭氧的濃度越高，臭氧的溶解效率也就越高。將臭氧濃度從1%提高到4-6%，同樣的劑量可以使更多地臭氧溶解在水中而且同時相應的提高處理效果。第四，高濃度臭氧氣使得需要溶解的氣體體積減少到空氣法的1/5,加壓泵功耗中有空氣法臭氧的1/5。第五，氧氣制備系統提供的清潔環境可增加臭氧放電組件的使用壽命，并相應地減少系統的維護費用?，F代一般采用分子篩變壓吸附法制取高濃度氧氣。